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  • 产品名称:FF-20BT/CT1 气动波纹管泵 IWAKI

  • 产品型号:FF-20BT/CT1
  • 产品厂商:IWAKI 易威奇
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简单介绍:
IWAKI气动波纹管泵 节能设计,减少空气消耗 响应超洁净的半导体工艺 F系列是专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 从湿式清洁工艺开始,产品阵容充足, 它广泛地适用于化学液体供应设备和CMP工艺。
详情介绍:


FF-20BT/CT1气动波纹管泵  IWAKI 易威奇 

FF / FF-H系列

产品特点

节能设计:我们尽可能地减少了气室的死体积,以减少空气消耗。

中温型和高温型:FF系列可处理各种化学品,从常温到高温(20到180°C),中温规格(PVC圆筒型:5到50°C,铝圆筒型:5到100°C)和FF - H系列。

无污染:氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计,不使用橡胶或金属,例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外,由于FF-H系列的主体和波纹管完全焊接在一起,因此热循环不会发生液体泄漏。

安全设计:带内置泵的接近开关采用可切换电磁阀的传感器驱动系统。 泄漏传感器也是标准设备。

产品规格
型号 FF-20BT/CT1
*大排放量 L/min 22
供气压力范围MPa 0.15~0.3
液体温度范围  B型:5~100 C型:5~50 
*大耗气量NL/min 180
泵冲程数 spm Max.120
泵连接口直径 3/4″ PFA管
空气连接口直径 Rc1/4
环境温度  0~40
驱动方法 接近开关方法

注:B型圆筒材料为Al +氟涂层,C型为PVC。

*大放电容量是根据淡水20°C的情况而定的性能。

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