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  • 产品名称:KASHIYAMA 樫山工业-干式真空泵-SDE1220

  • 产品型号:SDE1220
  • 产品厂商:Kashiyawa 樫山工业
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简单介绍:
KASHIYAMA樫山工业-干式真空泵-SDE系列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
详情介绍:

KASHIYAMA 樫山工业- 干式真空泵 -SDE系列


特征

*高抽速可达200,000 L / min级
适用于大型晶圆/ FPD基板
所有流程兼容对应于任何进程


主要型号


规格/型号 SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
*大抽速
[L / min] * 2
20,000 30,000 50,000 60,000 80,000 120,000 190,000
抵达压力
[Pa] * 2
0.5 0.8 0.5 0.8 0.5
电源电压
50/60 Hz
3相 AC200~220V, 380~480V
外观尺寸
[mm]
W * H * L * 3
W:400 W:450 W:450 W:750 W:800 W:850 W:1000
H:780 H:950 H:950 H:1200 H:1580 H:1220 H:1980
L:930 L:1000 L:1000 L:1600 L:1320 L:1600 L:1850

排气性能曲线

*排气性能曲线将被组合来改变。

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